专利简介：

本专利涉及一种改进的抛光磨料及其制备方法，主要用于玻璃表面的高效抛光。传统氧化铈磨粒容易团聚，导致抛光液分散性差，影响抛光质量。本发明通过两步化学改性：制备出乙二胺四乙酸接枝氧化铈复合磨粒。这种改性显著减少了磨粒的硬团聚，能够对玻璃材料进行高效地精加工。实验表明，玻璃表面粗糙度达到1 .2nm，相比与市售氧化铈磨粒的加工精度可提高21 .57％。本发明所制备的乙二胺四乙酸接枝氧化铈复合磨粒抛光液应用于玻璃材料的化学机械抛光，能够有效地提高基板玻璃的抛光效率，降低基板玻璃的表面粗糙度。

授权公告号：CN116285895B

申请号：2023102226603

专利权人：上海第二工业大学资源与环境工程学院

第一发明人：中国科学院南京土壤研究所戴珏博士

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