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面向危化气体监测的红外光学气体传感器及系统
2023-09-01
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项目简介：
面向危化气体监测的红外气体传感器及其系统研制是一种基于黑硅吸收层的多层纳米膜探测器及及集参比波长与检测波长为一体的新型光学气体传感器，利用 MEMS 加工技术在 SOI 衬底上采用金属铝诱导的方法制备黑硅结构，作为探测器的红外吸收层；利用溶胶溶胶 - 凝胶技术制备多层组合结构的纳米薄膜，采用了金属键合，湿法腐蚀等加工工艺，并完成窄带滤光片与探测器的集成，完成新型探测器的制备。
推荐机构：中北大学
联系电话：0356--2026322
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